微电子用超纯水

半导体、集成电路芯片及封装等电子行业，在生产在制作过程中，需要使用极高纯度的超纯水，可去除绝大部分阴阳离子。

处理工艺：“预处理→UF→二级RO →脱气膜→ EDI →TOC →抛光混床→终端微孔过滤

应用领域：

- 晶元
- 集成电路
- 液晶显示
- LED
- 分立器件
- 高精度线路板
- 封装测试

相关技术与标准：电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997)

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