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电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997)
项目 | EW-Ⅰ | EW-Ⅱ |
|---|---|---|
比电阻MΩ.cm@25℃ | 18（95%的时间不低于17） | （95%的时间不低于13） |
硅 ≤ μg/L | 2 | 10 |
>1μm微粒数 < 个/ml | 0.1 | 5 |
细菌个数< 个/ml | 0.001 | 0.1 |
铜≤μg/L | 0.2 | 1 |
锌≤μg/L | 0.2 | 1 |
镍≤μg/L | 0.1 | 1 |
钠≤μg/L | 0.5 | 2 |
钾 ≤ g/L | 0.5 | 2 |
氧≤ μg/L | 1 | 1 |
硝酸根≤ μg/L | 1 | 1 |
磷酸根≤ μg/L | 1 | 1 |
硫酸根 ≤μg/L | 1 | 1 |
总有机碳≤μg/L | 20 | 100 |
上海市航川路68号 
