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| 电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997） |
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项目
级别 |
比电阻 MΩ.cm@25℃ |
硅 ≤ μg/L |
>1μm微粒数 < 个/ml |
细菌个数< 个/ml |
铜≤μg/L |
锌≤μg/L |
镍≤μg/L |
钠≤μg/L |
钾 ≤ g/L |
氧≤ μg/L |
硝酸根≤
μg/L |
磷酸根≤
μg/L |
硫酸根 ≤μg/L |
总有机碳≤μg/L |
EW-Ⅰ |
18（95%的时间不低于17） |
2 |
0.1 |
0.001 |
0.2 |
0.2 |
0.1 |
0.5 |
0.5 |
1 |
1 |
1 |
1 |
20 |
EW-Ⅱ |
15（95%的时间不低于13） |
10 |
5 |
0.1 |
1 |
1 |
1 |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
1 |
100 |
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