物质中含量在百万分之一以下的组合的分析方法。痕量一词的含义随着痕量分析技术的发展而有所变化。痕量分析包括测定痕量元素在试样中的总浓度，和用探针技术测定痕量元素在试样中或试样表面的分布状况。一般分成3个基本步骤：取样、样品预处理和测定。由于被测元素在样品中含量很低、分布很不均匀，特别是环境样品，往往随时间、空间变化波动很大，要充分注意取样的代表性和保证一定的样品量。为了增强对痕量成分的检出能力和除去基本干扰，痕量组分的分离与 富集 常常是必不可少的，有两种方案：一种是将主要组分从样品中分离出来，让痕量组分留在溶液中；另一种是将痕量组分分离出来而让主要组分留在溶液中。为了提高分离、富集效果，通常应用掩蔽技术。样品预处理的另一个目的是使痕量组分转变为最适宜于最后测量的形式。常用的分离 、富集方法有挥发 、沉淀和共沉淀 、电解、液-液萃取、离子交换、色谱、萃取色谱、 电泳 等。在分离、富集过程中对于污染和痕量组分的损失要予以充分注意。

测定痕量组分的方法，取决于被分析的对象和测定方法的灵敏度、准确度、精密度和选择性以及经济上的合理性。在从经典的 比色法 和分光光度法到各种近代的仪器分析等痕量分析方法中，较常用的方法有：①光学方法。包括分光光度法、原子发射光谱法、原子吸收分光光度法、原子荧光光谱法、分子荧光和磷光法、化学发光法、激光增强电离光谱法等。②电化学方法。包括极谱分析法、库仑分析法、电位法和计时电位法等。③X射线法。包括电子微探针法、X射线荧光光谱法等。④放射化学法。包括活化分析法、同位素稀释法、放射性标记分析法等。⑤质谱法。包括二次离子质谱分析、火花源固体质谱。⑥色谱法。包括气相色谱法、液相色谱法、离子色谱法等。