超纯水的离子浓度极低，许多分析方法的灵敏度达不到。一般用户更是缺乏特殊的检测手段。可通过如下数据作为参考：
几种电阻率不同的纯水的离子计算浓度
离子 |
浓度（μg/L） |
| |
18.2 MΩ |
18.0 MΩ |
17.5 MΩ |
15 MΩ |
Na+ |
0.8 |
1.3 |
1.8 |
1.6 |
Cl- |
<0.1 |
0.15 |
0.5 |
2.1 |
Fe2+ |
2.0 |
2.4 |
2.0 |
5.4 |
Na++Cl-+SO42- |
<0.1 |
0.3 |
1.1 |
5.4 |
Na++Cl- |
<0.1 |
0.2 |
0.9 |
5.0 |
例如：电阻率为15 MΩ的水，其钠、氯和硫酸根离子的总浓度为5.4μg/L，这样的杂质水平，应能满足各种痕量分析和高纯分析的要求。不必心存疑虑。在这种情况下也不要去测PH值，因为即使全部离子都是H+，也无法改变1个PH单位。正如在实验室用水的国家标准（GB6682-92）中指出，对一、二级水不主张测量PH一样，超纯水就更难准确测量了。
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