超纯水的取样方法因测试项目、要求技术指标的不同而变化。
对非在线测试：预先采好水样，尽早上机分析。水样的采集必须选择有代表性的采样点。取样点的选择直接关系到检测数据的结果。

容器的准备

1. 对于硅、阳离子、阴离子、微粒的取样，须使用聚乙烯塑料容器。
2. 对于总有机碳、细菌的取样，必须使用带磨口塞的玻璃瓶

取样瓶处理方法

1. 阳离子、全硅分析用取样瓶处理方法：将3瓶500 mL的纯净水瓶子或盛过优级纯以上纯度的盐酸瓶子，用1mol盐酸浸泡过夜之后，用超纯水清洗10次以上（每次以150 mL左右纯水用力摇晃1分钟弃之再重复清洗），注满纯水并用以纯水清洗干净的瓶盖封严，静泡过夜。
2. 阴离子及颗粒分析用取样瓶处理方法：将3瓶500 mL的纯净水瓶子或盛过优级纯以上纯度的H2O2瓶子，用1mol NaOH溶液浸泡过夜之后，清洗同1.)
3. 细菌及TOC分析用取样瓶处理方法：将3瓶50 mL-100 mL的磨口玻璃瓶子以重铬酸钾硫酸洗液充满加盖酸浸泡过夜之后，用超纯水清洗10次以上（每次用力摇晃1分钟弃之再重复清洗），并用以纯水清洗干净的瓶盖封严，后置入高压灭菌锅中进行高压蒸汽灭菌30分钟

取样方法

• 阴、阳离子及颗粒分析用取样瓶，在正式取样前，倾出瓶中水，以超纯水重新清洗10次以上，一次性注入350-400mL超纯水，并用以纯水重新清洗干净的瓶盖封严。用洁净的塑料袋封严。
• 细菌及TOC分析用取样瓶，在正式取样时，倒出瓶中水，立即以超纯水充满取样瓶，并以灭过菌的瓶盖立即封严，用洁净的塑料袋封严。