「纯水」、「超纯水」虽是实验用水的名词，却无法明确表示水的纯度。
将水中的导电污染物质去除到比阻抗值达18.2 MΩ．cm（25℃）时，就称为「超纯水」。在此必须注意的是，比阻抗值只是代表水中无机盐类的含量，但并不能表示不含其它种类的污染物质。也就是，称为「超纯水」的水，还是可能含有不确定量的有机物、微粒子、微生物等污染物质。因此，必须同时使用「比阻抗值」与「TOC值」来评估水质。

不论以任何纯化方法来去除污染物质，若无法达到18.2 MΩ．cm的水，都称为「纯水」。例如「离子交换树脂水」、「蒸馏水」、「逆渗透水」等，都属于纯水。「蒸馏水」与「逆渗透水」这一类的纯水，由于纯化速率较慢，都必须使用纯水储槽储存后再供使用，因此，被纯化的水，在贮存过程中却可能受到贮存器材的材质、混杂在空气中的污染物与微生物的污染，造成水质的降低。所以，所谓的「纯水」也无法代表一定会有很好的品质，其水质会因为纯化方法与使用环境的不同而有所不同。

「超纯水」的定义：一般指经离子交换树脂、活性碳、滤膜法去除水中的主要不纯物质，而其比电阻值达到18.2兆欧厘米的水。