水中的有机物含量，可以用总有机碳TOC (total organic carbon) 来表示。超纯水中的有机物经常用TOC analyzer来加以监测 。因为有机物受185 nm短波长之紫外线照射后，会被氧化分解，此时生成的二氧化碳会溶于水中而形成碳酸根离子，造成导电率的改变(增加)。再经由氧化前后的导电率差 (△C) 来求出水中TOC浓度，单位为 μg C / L，也可以用前述的ppm、ppb来表示。