水的解离常数(Ksp)会随着水温而改变，因而电阻率会受到水温的影响而变化。例如，25℃的超纯水，其电阻率为 18.2 MΩ．cm，但在 0℃时则为 84.2 MΩ．cm，100℃则为 1.3 MΩ．cm。在25℃附近时，温度每上升1℃，其电阻率则下降 0.84 MΩ．cm。因此，一般使用温度补偿至 25℃的电阻率来做衡量标准。